
数据分析
◼ 支持csv、log、std文件导入
◼ 可进行单个文件、多个同类的文件的叠加,实现正态分布等图形化分析,导出excel报告
◼ 和MES、EAP连接,自动导入计算CPK、MEAN、STDEV,和参数的预定阈值进行比较,实现lot过站时的自动判定。通过自动化计算的过程管控,提高芯片设计外包生产的联动效率和质量
map处理
◼ 支持map格式转换
◼ 支持map工序的叠加,手工点除
◼ 支持PAT、GBDN、Cluster等map手动和批量处理
◼ 支持按照wafer id生成测试报告
